在 8 英寸晶圆制造过程中，刻蚀工艺的尾气管道温度控制是决定良率的关键环节。某国内头部晶圆厂曾长期受困于：低温环境下卤化物尾气频繁凝结，导致管道堵塞每周需停机清理 1 次，单批次维护成本超 3 万元，且温度波动引发的芯片缺陷让良率始终徘徊在 70% 左右。

直到采用上海赫鹏定制化柔性电加热保温套解决方案后，这一困境彻底改观。11 月 23-25 日，第二十二届中国国际半导体博览会（IC China 2025）将在北京国家会议中心启幕，上海赫鹏将在B-233展位全面拆解这一标杆案例，带更多半导体企业解锁 “稳温控、降成本、提良率” 的核心密码！

从痛点到突破：3 步实现温控升级

1. 精准诊断：锁定核心症结

通过实地勘测与数据监测，赫鹏技术团队发现：客户原有保温方案控温精度仅 ±5℃，无法稳定维持尾气气态所需的 80℃阈值，且管道接口等异形部位保温贴合度差，成为温度流失与凝结沉积的重灾区。

2. 定制方案：针对性破解

为客户量身打造 “柔性电加热保温套 + 智能温控系统” 组合方案：

• 采用纳米气凝胶保温层与氮化镓加热元件，控温精度提升至 ±1℃，精准匹配尾气气态温度需求；
• 通过 3D 扫描技术定制管道接口、阀门等异形部位的保温套，贴合度达 99%，杜绝温度死角；
• 搭载可编程温控器，支持分时段温度调节，根据不同工艺阶段自动适配，同时实时反馈温度数据。

3. 成效显著：数据见证价值

方案落地 3 个月后，客户生产数据实现三重突破：

• 管道堵塞故障从每周 1 次降至每年 2 次，设备利用率提升 12%，年节约维护成本超 150 万元；
• 芯片良率从 70% 提升至 77%，按年产 12 万片晶圆计算，年增收益超 500 万元；
• 智能温控系统实现按需加热，较传统方案节能 45%，年节约电费超 30 万元。

展会现场：解锁更多行业定制方案

除晶圆厂刻蚀工艺外，本次展会上海赫鹏还将带来：

• 化合物半导体 CVD 工艺的高温隔热解决方案，抵御 1200℃极端温度，守护设备安全；
• 半导体低温存储环节的 - 196℃超低温保温方案，避免冷凝结霜影响设备运行；
• 储能电站配套半导体设备的防爆型加热保温方案，已通过国内权威防爆认证。

展会信息速览

• 时间：2025 年 11 月 23 日 - 25 日（9:00-17:00）
• 地址：北京国家会议中心（北京市朝阳区天辰东路 7 号）
• 展位：B-233
• 对接专员：彭先生 13788984148（微信同号）

上海赫鹏深耕半导体温控领域多年，以 “定制化、高可靠、强节能” 的核心优势，服务超 200 家半导体相关企业。11 月北京，我们带真实案例、成熟方案与专属福利，期待与您面对面交流，共解温控难题！

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选择赫鹏，开启高效节能新篇章

1、上海赫鹏，中国加热保温套行业领导者

2、控温精准，误差不超 1 度

3、国内首家获得柔性防爆加热套认证高科技企业

4、聚焦半导体、石油化工、生物制药行业，提供精密防护，加热控制解决方案，服务企业超1000+

5、柔性加热保温领域开拓者，15年专业沉淀，引领行业标杆

上海赫鹏公司作为一家 “上海市高新科技企业”，在新材料保温、隔热、加热技术领域拥有深厚的技术积累和众多核心专利技术。其研发生产的柔性可拆卸保温套，凭借卓越的性能、广泛的适用性以及显著的节能降耗和环保优势，已成为工业领域众多企业的首选 “节能标杆”。

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择好保温套助力企业降本增效

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联系人：彭先生

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